系統内無金屬污染，配置微型環境（FFU）封裝(zhuāng)設計

滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求

支持高精(jīng)掃描、快速掃描

可(kě)定制晶圓載具(jù)

可(kě)選配雙探頭