超聲波幹式除塵機
應用(yòng)範圍
适用(yòng)于電(diàn)池塗布、半導體(tǐ)器件和玻璃基闆的除塵。
設備優勢
幹式非接觸除塵的方式,避免污染或損傷材料表面
超聲波除塵頭無需維護,隻需維護風機及更換濾芯
相比傳統非接觸式風刀(dāo)除塵,能(néng)去除6um以下塵粒
科(kē)學(xué)設計的封閉循環系統,不會污染潔淨室
主要參數
腔體(tǐ)壓力
4-5KPa
負壓口壓力
-4~-1KPa
工(gōng)作(zuò)距離
5mm以内,1.5mm最佳
使用(yòng)環境
萬級以下幹燥無塵車(chē)間
功率
7.5KW/11.5KW
電(diàn)源
380V,50/60HZ
處理(lǐ)風量
>600m³/h
過濾效率
99%,0.3um精(jīng)度
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