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400-888-0829
超聲波除塵系統
應用範圍
适用于電(diàn)池塗布、半導體(tǐ)器件和玻璃基闆的除塵。
設備優勢
幹式非接觸除塵的方式，避免污染或損傷材料表面
超聲波除塵頭無需維護，隻需維護風機及更換濾芯
相比傳統非接觸式風刀除塵，能去(qù)除6um以下(xià)塵粒
科學設計的封閉循環系統，不會污染潔淨室
主要參數
腔體(tǐ)壓力
4-5KPa
負壓口壓力
-4~-1KPa
工(gōng)作距離(lí)
5mm以内，1.5mm最佳
使用環境
萬級以下(xià)幹燥無塵車(chē)間
功率
7.5KW/11.5KW
電(diàn)源
380V，50/60HZ
處理風量
>600m³/h
過濾效率
99%，0.3um精度
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