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離線(xiàn)式晶圓超聲掃描檢測系統
應用(yòng)範圍

6、8、12寸晶圓鍵合檢測

設備優勢

系統内無金屬污染，配置微型環境（FFU）封裝(zhuāng)設計

滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求

支持高精(jīng)掃描、快速掃描

可(kě)定制晶圓載具(jù)

可(kě)選配雙探頭

主要參數
外形尺寸
1200㎜(L)×1000㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
單探頭
圖像分(fēn)辨率
1~4000μm
超聲發射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精(jīng)掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平台
大理(lǐ)石平台
XY軸
直線(xiàn)電(diàn)機、龍門雙驅
治具(jù)
晶圓專用(yòng)載具(jù)
上下料
手動放置
潔淨度
百級
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