英文(wén)
400-888-0829
半自動晶圓超聲掃描檢測系統
應用(yòng)範圍
6、8、12寸晶圓鍵合檢測
設備優勢
系統内無金屬污染，配置微型環境（FFU）封裝(zhuāng)設計
滿足掃描過程的Class2（100級）清潔度要求
配置晶圓自動入水機構
左右雙探頭同時掃描，提示掃描效率
整體(tǐ)有(yǒu)效掃描範圍：420mm×320mm
可(kě)依據晶圓尺寸定制晶圓專用(yòng)載台
主要參數
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
雙探頭，分(fēn)工(gōng)位掃描
圖像分(fēn)辨率
1~4000μm
超聲發射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精(jīng)掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平台
大理(lǐ)石平台
XY軸
直線(xiàn)電(diàn)機、龍門雙驅
治具(jù)
晶圓專用(yòng)載具(jù)
上下料
半自動，傾斜出入水
潔淨度
百級
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