主要參數
冷貼精(jīng)度
±3μm@3σ
貼裝(zhuāng)區(qū)域
300mm(x)*220mm(y)*60(z)
熱壓/超聲固晶壓力
2~300N
翻轉系統
180°翻轉,定制應用(yòng)吸嘴
上料方式
wafer/waffle pack/tape feeder模塊化柔性配置